| 专利名称 | 发明人 | 申请号 | 申请日期 |
|---|---|---|---|
| 金属栅CMP后的制程监控方法 | 杨涛，赵超，李俊峰，闫江，陈大鹏; | 201110150043.4 | 2011-06-03 |
| 后栅工艺移除多晶硅假栅制程的监控方法 | 杨涛，赵超，李俊峰，闫江，陈大鹏; | 201110149722.X | 2011-06-03 |
| 化学机械平坦化后清洗晶圆的方法 | 杨涛，赵超，李俊峰; | 201110149721.5 | 2011-06-03 |
| 避免半导体制程菜单调试过程中出错的方法及系统 | 李春龙，李俊峰; | 201110139608.9 | 2011-05-26 |
| 燃料电池的MEMS制造方法 | 李春龙，赵超; | 201110133383.6 | 2011-05-23 |
| 燃料电池极板的MEMS制造方法 | 李春龙，赵超; | 201110134239.4 | 2011-05-23 |
| 提高浅沟槽隔离化学机械平坦化均匀性的方法 | 杨涛，刘金彪，李俊峰，赵超; | 201110125319.3 | 2011-05-16 |
| 感应栅型非晶态金属氧化物TFT气体传感器 | 殷华湘，陈大鹏; | 201110117657.2 | 2011-05-09 |
| 可集成的非晶态金属氧化物半导体气体传感器 | 殷华湘，陈大鹏; | 201110117658.7 | 2011-05-09 |
| 具有高击穿电压的HEMT及其制造方法 | 赵超, 罗军, 陈大鹏，叶甜春; | 201110116103.0 | 2011-05-05 |
| 避免氧化炉管污染的方法 | 李春龙，李俊峰; | 201110104371.0 | 2011-04-25 |
| 半导体器件制造方法 | 蒋葳，于伟泽，张亚楼，尹海洲; | 201110104317.6 | 2011-04-25 |
| 半导体器件及其制造方法 | 罗军，赵超，钟汇才，李俊峰; | 201110104362.1 | 2011-04-25 |
| 防止积留水液的热氧化系统和方法 | 李春龙; | 201110109430.3 | 2011-04-25 |
| 用于保持热预算稳定的加热方法 | 李春龙; | 201110104354.7 | 2011-04-25 |
科研产出