| 专利名称 | 发明人 | 申请号 | 申请日期 |
|---|---|---|---|
| 高精度集成电路器件测试设备 | 殷华湘，梁擎擎，钟汇才; | 201110203000.8 | 2011-07-20 |
| 多栅晶体管及其制造方法 | 罗军，赵超，李俊峰; | 201110199673.0 | 2011-07-15 |
| 横向梳齿型微机械震动能量收集器 | 欧毅，陈大鹏，叶甜春，刘宇; | 201110197883.6 | 2011-07-14 |
| 薄膜沉积方法 | 孟令款; | 201110197889.3 | 2011-07-14 |
| 降低HDPCVD缺陷的方法 | 孟令款; | 201110187767.6 | 2011-07-06 |
| 纳米器件沟道超薄栅介质电容测试方法 | 殷华湘，梁擎擎，钟汇才; | 201110188786.0 | 2011-07-05 |
| 3D集成电路结构以及检测芯片结构是否对齐的方法 | 肖卫平，朱慧珑; | 201110187333.6 | 2011-07-05 |
| 基于PNPN结构的SRAM电路及其读写方法 | 童小东，梁擎擎; | 201110169833.7 | 2011-06-22 |
| 多晶硅假栅移除后的监控方法 | 杨涛，赵超，李俊峰，闫江，陈大鹏; | 201110165279.5 | 2011-06-20 |
| 半导体器件及其制造方法 | 王桂磊，李春龙，赵超，李俊峰; | 201110165239.0 | 2011-06-20 |
| 半导体器件及其制造方法 | 王桂磊，李春龙，赵超，李俊峰; | 201110165241.8 | 2011-06-20 |
| 纳米线制造方法 | 罗军，赵超，钟汇才，李俊峰; | 201110159421.5 | 2011-06-14 |
| 半导体器件及其制造方法 | 罗军，赵超，钟汇才，李俊峰; | 201110159506.3 | 2011-06-14 |
| 半导体器件中金属厚度的量测方法 | 杨涛，赵超，李俊峰，闫江，陈大鹏; | 201110156411.6 | 2011-06-11 |
| 避免氧化炉管二氯乙烯失效的方法和装置 | 李春龙，王桂磊，李俊峰，赵超; | 201110157046.0 | 2011-06-11 |
科研产出