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专利

专利名称 发明人 申请号 申请日期
SOI MOS晶体管 李莹;毕津顺;罗家俊;韩郑生; 201210155387.9 2012-05-18
腔室加热装置 席峰;李楠;李勇滔;张庆钊;夏洋; 201210014888.5 2012-01-17
一种单晶立方形氮化碳薄膜的制备方法 饶志鹏;夏洋;万军;李超波;陈波;刘键;江莹冰;石莎莉;李勇滔; 201210007603.5 2012-01-11
亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法 李海亮;谢常青;刘明;李冬梅;史丽娜;朱效立; PCT/CN2011/079850 2011-09-20
一种反应等离子喷涂制备碳化硼涂层的方法 王文东;闫坤坤;黄春;刘邦武;夏洋; 201210002114.0 2012-01-05
一种等离子喷涂制备碳化硼涂层的方法 王文东;闫坤坤;黄春;夏洋; 201210001927.8 2012-01-05
张应力 LPCVD SiO2膜的制造方法 尚海平;焦斌斌;刘瑞文;陈大鹏;李志刚;卢狄克; 201110448748.4 2011-12-28
低温高覆盖性侧墙制造方法 王桂磊; 201110433694.4 2011-12-21
MOSFET制造方法 付作振;殷华湘; 201110419341.9 2011-12-15
一种半导体结构及其制造方法 朱慧珑;尹海洲;骆志炯; 201110409652.7 2011-12-09
SRAM单元及其制造方法 朱慧珑;梁擎擎; PCT/CN2011/082700 2011-11-23
MOSFET及其制造方法 朱慧珑;许淼;梁擎擎; PCT/CN2011/082424 2011-11-18
半导体器件结构及其制作方法 钟汇才;罗军;梁擎擎;朱慧珑; PCT/CN2011/079040 2011-08-29
半导体器件结构及其制作方法 钟汇才;梁擎擎;尹海洲; PCT/CN2011/078221 2011-08-10
衬底结构、半导体器件及其制造方法 钟汇才;梁擎擎; PCT/CN2011/071224 2011-03-04