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专利

专利名称 发明人 申请号 申请日期
平板式等离子体增强化学汽相淀积设备的反应室结构 刘训春, 周宗义, 李兵, 张育胜, 王佳, 张永利; 200710303894.1 2007-12-26
一种消除反应离子刻蚀自偏压的方法及系统 刘训春,王佳,周宗义,李兵,王建海,黄清华; 200810223342.4 2008-09-26
实现将光纤阵列插入微孔阵列的装置及方法 李宝霞, 万里兮; 200710179351.3 2007-12-12
基于埋入电容的宽带低通高频滤波器 万里兮, 高巍; 200710179859.3 2007-12-19
一种接收有源区位于斜面上的光电探测器的制造方法 申华军, 李志华, 杨成樾, 万里兮, 李宝霞; 200710121369.8 2007-09-05
光电器件阵列与光纤阵列的无源耦合方法及其组件制备 李宝霞, 万里兮; 200710121368.3 2007-09-05
一种非制冷红外成像焦平面阵列探测器 焦斌斌, 李超波, 陈大鹏, 叶甜春; 200710062982.7 2007-01-24
光-机械式双层结构非制冷红外成像焦平面阵列探测器 焦斌斌, 李超波, 陈大鹏, 叶甜春; 200710062983.1 2007-01-24
一种红外光学成像装置 焦斌斌, 陈大鹏, 欧毅, 景玉鹏, 叶甜春, 张青川; 200710063700.5 2007-02-07
基于场致电子发射原理的微尖端阵列器件及其制作方法 傅剑宇, 陈大鹏, 景玉鹏, 欧毅, 叶甜春; 200710177795.3 2007-11-21
一种制备金属栅电极的方法 周华杰, 徐秋霞; 200710178281.X 2007-11-28
一种调节全硅化金属栅的栅功函数的方法 周华杰, 徐秋霞; 200710178324.4 2007-11-28
微电子机械系统光学解复用器芯片的制备方法 欧毅, 陈大鹏, 孙雨南, 崔芳, 董立军, 刘辉, 韩劲东; 200710064865.4 2007-03-28
一种抗水流冲击的体硅腐蚀配套设备 石莎莉, 陈大鹏, 景玉鹏, 欧毅, 叶甜春; 200710064861.6 2007-03-28
带自支撑框架的全镂空结构光调制热成像焦平面阵列 焦斌斌,陈大鹏,欧毅,叶甜春; 200920311648.5 2009-09-28