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| 论文题目: | 太阳能电池刻蚀机的控制系统研究 |
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| 作者: | 张育胜 |
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| 刊物名称: | 《电子工业专用设备》 |
| 年: | 2008 |
| 卷: | 37 |
| 期: | 8 |
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| 联系作者: | 张育胜 |
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| 摘要: | 太阳能电池刻蚀机的自动生产流程是逻辑控制系统，提出采用树形结构对逻辑控制系统进行分析，各子系统用树形结构进行设计，终端子系统采用时序图方法进行设计，综合了组合逻辑和时序逻辑控制。此方法应用于自动太阳能电池刻蚀机，提高了系统的处理速度和可靠性。 |
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| 外单位作者单位: | |
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科研产出