| 论文编号: | |
| 第一作者所在部门: | |
| 论文题目: | 基极微空气桥和发射极空气桥的InP/InGaAs HBT |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | 于进勇,刘新宇,苏树兵,王润梅,徐安怀,齐鸣 |
| 论文出处: | |
| 刊物名称: | 《半导体学报》 |
| 年: | 2007 |
| 卷: | 28 |
| 期: | 2 |
| 页: | 154-158 |
| 联系作者: | 于进勇 |
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| 摘要: | 报道了具有基极微空气桥和发射极空气桥结构的InP单异质结双极型晶体管（SHBT) . 由于基极微空气桥和发射极空气桥结构有效地减小了寄生，发射极尺寸为2μm×12.5μm的InP HBT的截止频率达到了178GHz. 这种器件对高速低功耗的应用非常关键，例如OEIC接收机以及模拟、数字转换器. |
| 英文摘要: | |
| 外单位作者单位: | |
| 备注: | 中文关键词：InP 异质结双极型晶体管 微空气桥 空气桥 自对准 |
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