| 论文编号: | 1725110120150186 |
| 第一作者所在部门: | 微电子重点实验室 |
| 论文题目: | Large-area SiC membrane produced by plasma enhanced chemical vapor deposition at relatively high temperature |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | 刘宇 |
| 论文出处: | |
| 刊物名称: | Journal of Vacuum Science & Technology A |
| 年: | 2015 |
| 卷: | 33 |
| 期: | 5 |
| 页: | 05E114-1-05E114-6 |
| 联系作者: | 谢常青 |
| 收录类别: | |
| 影响因子: | 2.322 |
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| 英文摘要: | |
| 外单位作者单位: | |
| 备注: | |
科研产出