| 论文编号: | 1725110120160212 |
| 第一作者所在部门: | |
| 论文题目: | Impact of pattern dependency of SiGe layers grown selectively in source/drain on the performance of 14？nm node FinFETs |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | 秦长亮 |
| 论文出处: | |
| 刊物名称: | solid-state electronics |
| 年: | 2016 |
| 卷: | |
| 期: | 124 |
| 页: | 10 |
| 联系作者: | 王桂磊 |
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科研产出