教育背景

2005年毕业于清华大学，工学博士 

1998年毕业于电子科技大学，工学硕士

1995年毕业于电子科大学，工学学士

工作简历

2019年-至今：中国科学院微电子研究所 研究员

2008年-2018年：中国科学院微电子研究所 副研究员

2005年-2007年：中国科学院微电子研究所 博士后

1998年-2000年：电子科技大学 讲师

自然科学基金：“面向低功耗数字电路应用的多晶锗硅纳机电开关研究”，项目负责人；

973计划子课题：“低功耗器件建模与集成电路”，子课题负责人；

所长基金：“IP共性技术研究-IP打包技术”，项目负责人；

国家重大科技专项：“晶圆级石墨烯电子材料与器件研究”，任务负责人；

所内研发项目：“混合信号PDK开发”；项目负责人；

国家重大科技专项：“5nm光刻技术方案与设计规则优化”，课题骨干；

国家重大科技专项：“下一代技术节点三维存储器的光刻方案研究”，课题骨干；

国家重大科技专项：“国产计算光刻系统性能评估”，课题骨干；

国家重大科技专项：“ET-SOI器件与关键工艺研究”，课题骨干；

国家重大科技专项：“14nm FINFET工艺技术研发”，课题骨干；

科技部重点专项：“半导体二维晶体材料的制备”，课题骨干；

国家重大科技专项：“22纳米关键工艺技术先导研究与平台建设”，课题骨干；

所长基金：“面向20/14nm技术节点的先进光刻技术”，课题骨干；

发表SCI和EI论文30余篇，专利10余项。