当前位置 首页 人才队伍
  • 姓名： 卢增雄
  • 性别： 男
  • 职称： 副研究员
  • 职务： 
  • 学历： 博士
  • 电话： 010-82995925
  • 传真： 
  • 电子邮件： luzengxiong@ime.ac.cn
  • 所属部门： 光刻技术总体部
  • 通讯地址： 北京市朝阳区北土城西路3号

    简　　历：

  • 教育背景

    2004.9-2008.7 西南大学物理科学与技术学院，物理学专业，理学学士 

    2008.9-2013.7 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室，光学专业，理学博士 

    工作简历 

    2013.7-2016.11  中科院光电研究院助理研究员 

    2016.12-2018.10  中科院光电研究院副研究员 

    2018.11-至今  中科院微电子研究所副研究员 

    社会任职：

    研究方向：

  • 光学检测；精密仪器

    承担科研项目情况：

  • 先后承担及参与国家科技重大专项课题、光电研究院创新项目及企业横向课题7项，其中3项已结题，4项在研。

    代表论著：

  • 发表学术论文20余篇，其中代表性论文如下： 

    [1] 马敬，齐月静，卢增雄*等. 光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计[J]. 中国激光，2019，46(7):0704009. 

    [2] Yuejing Qi, Zengxiong Lu*, Jing Ma, et al. Research on micro displacement measurement technology based on chromatic confocal method[C]. Proc. SPIE, 2019, 108401G. 

    [3] 孟庆宾，齐月静,卢增雄*等. 环境温度变化对夏克-哈特曼波前传感器测量精度影响分析[J]. 中国激光，2016，43(8): 0810001. 

    [4] 卢增雄，齐月静，齐威等. 纳米精度波像差检测随机点源阵列照明优化分析[J]. 光学学报，2015，35(6):0612007. 

    [5] 卢增雄，金春水，张立超等. 极紫外三维小孔矢量衍射波面质量分析[J]. 光学学报，2010，30(10): 2849～2854.

    专利申请：

  • 申请发明专利15项，授权12项。代表性专利如下： 

    [1]一种高稳定低串扰分束装置，发明，201911212058.1 

    [2]一种光谱共焦测量系统标定装置及标定方法，发明， 201710242019.0 

    [3]一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法，发明，201611169770.4 

    [4]一种微孔衍射波前质量测量装置与方法，发明，201510264841.8 

    [5]一种光学系统波像差测量装置与测量方法，发明，201410373440.1

    获奖及荣誉：

中国科学院微电子研究所版权所有 邮编：100029
单位地址：北京市朝阳区北土城西路3号，电子邮件：webadmin@ime.ac.cn
京公网安备110402500036号，京ICP备05002781号-1