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  • 姓名: 李俊杰
  • 性别: 男
  • 职称: 正高级工程师
  • 职务: 
  • 学历: 博士
  • 电话: 010-82995794
  • 传真: 010-82995783
  • 电子邮件: lijunjie@ime.ac.cn
  • 所属部门: 先导中心
  • 通讯地址: 北京市朝阳区北土城西路3号

    简  历:

  • 教育背景:

    2018-2021 中国科学院微电子研究所,微电子学与固体电子学,工学博士

    2004-2007 北京航空航天大学,材料科学与工程,工学硕士

    2000-2004 武汉理工大学,材料科学与工程,工学学士

    工作简历:

    2024.12-至今  中国科学院微电子研究所  正高级工程师

    2013.04-2024.12 中国科学院微电子研究所  高级工程师

    2007-2013 北方华创(原北方微电子)  产品经理

    社会任职:

  • 北京集成电路学会专家库科技界专家 评审专家

    研究方向:

  •  纳米器件及关键工艺,机理及原型装备

    承担科研项目情况:

  • 2024.1-2025.12 GAA工艺物理模型与仿真的工艺验证,子课题负责人

    2021.9-2023.9  中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目,课题负责人

    2022.1-2026.6   横向课题/SiGe/Si选择性刻蚀与纳米沟道释放,项目负责人



    代表论著:

  • 1Jun jie Li,Wenwu Wang,Yongliang Li et al., Study of selective isotropic etching Si1xGex in process of nanowire transistors. J. Mater. Sci. Mater. Electron. 2020, 31, 134143

    2Jun jie Li, Yongliang Li,Guilei Wang, Wenwu Wang et al., A Novel Dry Selective Isotropic Atomic Layer Etching of SiGe for Manufacturing Vertical Nanowire Array with Diameter Less than 20 nm. Materials 2020, 13, 771

    3. Jun jie Li, Yongliang Li,Guilei Wang, Wenwu Wang et al., Study of Silicon Nitride Inner Spacer Formation in Process of Gate-all-around Nano-transistors. Nanomaterials 2020, 10, 111

    4.Ziyi Hu. Jun jie Li*, et al.,First large-scale (68×25×5 nm3 ) atomistic modeling for accurate and efficient etching process based on machine learning molecular dynamics (MLMD).IEDM 2024

    5.Zhen jie Yao,Junjie Li*, et al.,Etching process prediction based on cascade recurrent neural network.Engineering Applications of Artificial Intelligence139(2025)109590

    6.Hua Shao,Junjie Li*,et al.,Loading Effect during SiGe/Si Stack Selective Isotropic Etching for Gate-All-Around Transistors.ACS Applied Electronic Materials2024 6 (11), 8124-8133

    7. Jianyu Fu,Junjie Li et al., Improving sidewall roughness by combined RIE-Bosch process. Materials Science in Semiconductor Processing 83 (2018) 186–191

    8.Enxu Liu,Junjie Li*, et al.,Study of Selective Dry etching Si0.7Ge0.3 with Different Plasma Source in Process of Gate-all-around FET.SPIE 2024 oral

    9.Ziyi Hu,Junjie Li, et al.,A Two-Step Dry Etching Model for Non-Uniform Etching Profile in Gate-All-Around Field-Effect Transistor Manufacturing. Small 2024, 2405574

    10.Chaoran Yang,Junjie Li*, et al.,Study of Inner Spacer Module Process for Gate All Around FieldEffect Transistors.ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2024 13 085001


    专利申请:

  • 1. Junjie Li,Junfeng Li,Qinghua Yang,Etching method,US 9911617B2

    2. 李俊杰,刘耀东,周娜等,一种金属纳米线或片的制作方法及纳米线或片,授权专利号:ZL201910787862.6

    3. 李俊杰,吴振华,王文武等,一种纳米线的制作方法,授权专利号:ZL201810596945.2

    4. 李俊杰,徐秋霞,殷华湘,李俊峰等,纳米线围栅MOS器件及其制备方法,授权专利号:ZL201810745480.2

    5. 李俊杰,王桂磊,李永亮等,一种微电极结构及其制作方法及包括该器件的电子设备,授权专利号:ZL201910380542.9

    6. 李俊杰,傅剑宇,高建峰,杨涛等,一种红外吸收薄膜结构及制作方法及其电子设备,

    授权专利号:ZL201910457839.0

    7. 李俊杰,李永亮,王文武,半导体器件与其制作方法,授权专利号:ZL201810596940.X

    8. 李俊杰,周娜,李永亮,王桂磊,殷华湘等,内侧墙的刻蚀方法、刻蚀气体及纳米线器件的制备方法,授权专利号:ZL201911234819.3

    9. 李俊杰,吴振华,张青竹,王文武,包括纳米线的器件与其制作方法,授权专利号:ZL201810502936.2

    10.李俊杰;李晨;朱慧珑;周娜;王桂磊;李永亮;李俊峰 殷华湘;王文武,一种刻蚀方法及系统、刻蚀控制装置、电子器件及设备,授权专利号:ZL202010100444.8

    获奖及荣誉:

  • 曾入选中国科学院技术支撑人才

    中科院微电子研究所先进工作者(十佳员工)

    中国科学院院长特别奖

    唐立新奖

    王守武奖

    国家奖学金博士奖