| 专利名称: | 采用锗或锑预无定形注入及清洗的钛硅化物方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 00135750.6 |
| 申请日期: | 2000-12-19 |
| 专利号: | CN1360341 |
| 第一发明人: | 徐秋霞 钱鹤 柴淑敏 邢小平 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
| 国外申请方式: | |
| 专利授权日期: | |
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| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 一种采用锗或锑预无定形注入及清洗硅化物的方法，包括如下步骤；步骤1：在源/漏结形成后、溅钛前，对整个硅片采用锗或锑的预无定形注入的方法来促进相转移；步骤2：溅钛前，对硅片进行清洗处理；步骤3：溅钛前进行真空腔内预退火处理；步骤4：进行薄钛－自对准硅化物工艺。 |
| 其它备注: | |
科研产出