| 专利名称: | T型栅金属剥离方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 03137829.3 |
| 申请日期: | 2003-05-21 |
| 专利号: | CN1549304 |
| 第一发明人: | 张海英 刘训春 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
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| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 一种T型栅金属剥离方法，包括如下步骤：将蒸发后的片子放入盛有丙酮试剂的容器中，保证片子浸于液面以下，栅线条以外的金属会剥落；确认表面金属大面积剥落后，将片子从丙酮试剂中取出，在乙醇溶液、水进行冲洗；用氮气吹干片子；在紫外光曝光灯下曝光；将片子放入TMAH∶H2O＝4∶1溶液中浸泡；用水冲干净试剂，氮气吹干；将片子放入盛有丙酮试剂的容器中浸泡，保证片子浸于液面以下；将片子从丙酮试剂中取出，在乙醇溶液、水进行冲洗；用氮气吹干片子；检查表面情况，完成金属剥离工序。 |
| 其它备注: | |
科研产出