| 专利名称: | 一种声表面波器件的制备方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200610003586.2 |
| 申请日期: | 2006-02-15 |
| 专利号: | CN101022270 |
| 第一发明人: | 王丛舜 牛洁斌 涂德钰 谢常青 陈宝钦 刘 明 |
| 其它发明人: | |
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| 专利授权日期: | |
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| 实施情况: | |
| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 一种声表面波器件的制备方法，其工艺步骤如下：1.在压电基片上 旋涂压印胶；2、制备声表面波器件压模并对其表面进行防粘连处理；3. 将带有声表面波器件电极图形的压模压入压印胶中，通过加热、加压或 紫外光辐照固化等压印方式得到电极的胶图形；4.分离压模和基片；5. 利用氧等离子干法刻蚀残胶，直到露出基片；6.溅射或蒸发电极材料； 7.剥离得到电极图形，完成声表面波器件的制备。 |
| 其它备注: | |
科研产出