| 专利名称: | 石英晶圆深微孔加工设备及方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200710178773.9 |
| 申请日期: | 2007-12-05 |
| 专利号: | CN101450788 |
| 第一发明人: | 罗小光 刘茂哲 李全宝 高超群 景玉鹏 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 本发明公开了一种石英晶圆深微孔加工设备，该设备包括空气压 缩机、喷砂枪和载玻台，所述压缩机连接着喷砂枪，压缩机向喷砂枪 输送高压缩空气，致使喷砂枪内的磨料高速喷击到置于载玻台的石 英晶圆上，利用高速运动的磨料撞击石英材料实现在石英晶圆上 的深微孔加工。本发明同时公开了一种对石英晶圆进行深微孔加工的 方法。利用本发明，解决了激光不能在透明材料打孔的弊端，以及离 子打孔电荷问题不能加工深微孔等一系列问题，实现了在石英上的深 微孔制作，设备简单，易于实现，而且成本低廉，刻蚀速度快，可以 批量生产。 |
| 其它备注: | |
科研产出