| 专利名称: | 一种大口径成像光子筛及其制作方法 |
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| 申请号: | 200910091043.4 |
| 申请日期: | 2009-08-20 |
| 专利号: | CN101630027 |
| 第一发明人: | 朱效立 潘一鸣 谢常青 贾 佳 刘 明 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 本发明公开了一种大口径成像光子筛及其制作方法，属于衍射光学组件 技术领域。所述大口径成像光子筛包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属 薄膜，所述不透光的金属薄膜上随机分布若干透光小孔，所述随机分布的透 光小孔使得衍射光之间相互干涉从而能够有效地抑制旁瓣效应和高级衍射， 提高分辨率，得到更为锐利的焦斑。在本发明的制作方法中采用Connes整形 函数对随机分布的小孔进行整形，减少了孔数目，减小了版图数据量，并优 化了小孔的整体分布，使得成像焦斑更加锐利，使得现有的加工工艺水平能 够满足大口径光子筛的制造需求。 |
| 其它备注: | |
科研产出