专利名称: 一种垂直型NROM存储结构及其制备方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201010573812.7
申请日期: 2010-11-30
专利号: 201010573812.7
第一发明人: 霍宗亮
其它发明人: 霍宗亮;刘明;刘璟;张满红
实施情况: 授权
专利证书号: 201010573812.7
其它备注: 中国科学院微电子研究所