专利名称: 半导体结构及其制造方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201010215093.1
申请日期: 2010-06-22
专利号: ZL201010215093.1
第一发明人: 朱慧珑
其它发明人: 朱慧珑
实施情况: 授权
专利证书号: ZL201010215093.1
其它备注: 中国科学院微电子研究所