专利名称: 避免氧化炉管污染的方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201110104371.0
申请日期: 2011-04-25
专利号: ZL201110104371.0
第一发明人: 范正萍
其它发明人: 李春龙;李俊峰
实施情况: 授权
专利证书号: ZL201110104371.0
其它备注: 中国科学院微电子研究所