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专利名称: 一种光学集成结构及其制作方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201210040365.8
申请日期: 2012-02-20
专利号: 201210040365.8
第一发明人:
其它发明人: 刘丰满，万里兮
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: 201210040365.8
专利摘要:
其它备注: 中国科学院微电子研究所
中国科学院微电子研究所版权所有 邮编：100029
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