专利名称: 一种光学集成结构及其制作方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201210040365.8
申请日期: 2012-02-20
专利号: 201210040365.8
其它发明人: 刘丰满,万里兮
实施情况: 授权
专利证书号: 201210040365.8
其它备注: 中国科学院微电子研究所