| 专利名称: | 基于模拟退火算法的自适应压力控制的原子层沉积设备 |
| 专利类别: | 发明专利 |
| 申请号: | 201110309981.4 |
| 申请日期: | 2011-10-13 |
| 专利号: | ZL 201110309981.4 |
| 第一发明人: | 王燕;李勇滔;夏洋;赵章琰;石莎莉 |
| 实施情况: | 授权 |
| 专利名称: | 基于模拟退火算法的自适应压力控制的原子层沉积设备 |
| 专利类别: | 发明专利 |
| 申请号: | 201110309981.4 |
| 申请日期: | 2011-10-13 |
| 专利号: | ZL 201110309981.4 |
| 第一发明人: | 王燕;李勇滔;夏洋;赵章琰;石莎莉 |
| 实施情况: | 授权 |
科研产出