专利名称: 一种掺氮二氧化钛薄膜的制备方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201210007712.7
申请日期: 2012-01-11
专利号: ZL 201210007712.7
第一发明人: 夏洋;饶志鹏;万军;李超波;陈波;刘键;江莹冰;石莎莉;李勇滔
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实施情况: 授权
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