| 专利名称: | 极紫外光刻掩模缺陷检测系统 |
| 专利类别: | 发明专利 |
| 申请号: | 201210104156.5 |
| 申请日期: | 2012-04-10 |
| 专利号: | 201210104156.5 |
| 第一发明人: | 李海亮;谢常青;刘明;李冬梅;牛洁斌;史丽娜;朱效立 |
| 实施情况: | 授权 |
| 专利名称: | 极紫外光刻掩模缺陷检测系统 |
| 专利类别: | 发明专利 |
| 申请号: | 201210104156.5 |
| 申请日期: | 2012-04-10 |
| 专利号: | 201210104156.5 |
| 第一发明人: | 李海亮;谢常青;刘明;李冬梅;牛洁斌;史丽娜;朱效立 |
| 实施情况: | 授权 |
科研产出