专利名称: 一种利用ALD制备栅介质结构的方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201210477230.8
申请日期: 2012-11-21
专利号: ZL 201210477230.8
第一发明人: 董亚斌;夏洋;李超波;张阳
实施情况: 授权