| 专利名称: | 原子层沉积制备N-Zr共掺的氧化锌薄膜 |
| 专利类别: | 发明专利 |
| 申请号: | 201210533437.2 |
| 申请日期: | 2012-12-11 |
| 专利号: | 201210533437.2 |
| 第一发明人: | 卢维尔;夏洋;李超波;董亚斌 |
| 实施情况: | 授权 |
| 专利证书号: | 201210533437.2 |
| 其它备注: | 八室一组 |
| 专利名称: | 原子层沉积制备N-Zr共掺的氧化锌薄膜 |
| 专利类别: | 发明专利 |
| 申请号: | 201210533437.2 |
| 申请日期: | 2012-12-11 |
| 专利号: | 201210533437.2 |
| 第一发明人: | 卢维尔;夏洋;李超波;董亚斌 |
| 实施情况: | 授权 |
| 专利证书号: | 201210533437.2 |
| 其它备注: | 八室一组 |
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