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专利名称: 可实现快速阻抗匹配的射频电源系统
专利类别: 发明专利
申请号: 201310629233.3
申请日期: 2013-11-29
专利号: 201310629233.3
第一发明人: 李勇滔;孙小孟;李英杰;夏洋;王文东
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: 201310629233.3
专利摘要:
其它备注: 八室三组
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