专利名称: 半导体器件制造方法
专利类别: 国际专利
申请号: 14/662,963
申请日期: 2015-03-19
专利号: 9,418,835
第一发明人: 王桂磊;刘金彪;李俊峰
实施情况: 授权
专利证书号: 9,418,835
其它备注: 先导中心