微电子所专家讲坛系列之“硅基CMOS集成技术”讲座举办

　　9月21日，微电子所专家讲坛系列之“硅基CMOS集成技术”讲座成功举办。应微电子所研究生会邀请赵超研究员作了题为《硅基CMOS集成电路技术发展的历史、现状和前景展望》的专题讲座，来自微电子所各研究室的30余名师生参加了讲座。

　　硅基CMOS集成电路是人类发展史上最精细的加工和生产技术之一，也是现代人类生活中不可或缺的信息技术得以实现的重要基础。讲座中，赵超研究员首先介绍了CMOS集成电路技术发展的历史与现状，并指出了各阶段集成电路的技术瓶颈与解决方案，而后对未来技术发展可能的路径进行展望分析。此外，他还介绍了微电子所先导工艺研发中心承担的“国家科技重大专项22纳米先导工艺项目 ”的进展情况。最后，赵超研究员结合自己的人生经历，给同学们的职业规划和科研工作提出了指导建议，并就科研写作等问题与同学们进行了经验分享。

　　通过此次讲座，与会的同学们对硅基CMOS技术的发展历程和未来前景有了清晰了解，对微电子所承担的国家科技任务有了深刻认识，对赵超研究员人生经历的宝贵经验得到了实用的学习体会。

　　赵超研究员现担任中科院微电子所集成电路先导工艺研发中心主任，1999年获比利时鲁汶大学（KU Leuven）博士学位。曾任欧洲微电子研发中心（IMEC）资深科学家（Senior Scientist），在高K/金属栅（High-K/metal gate），铜互连（Cu-Interconnection）,铜接触（Cu-Contacts），三维穿硅通孔封装（3D-TSV）等领域做出过重要贡献。