中国科学院微电子研究所和光电研究院第一期先进光刻机技术培训班举行

　　日前，由中科院微电子所研究员宗明成发起，中国科学院微电子研究所主办，中国科学院光电研究院协办的第一期先进光刻机技术培训班成功举行，60余名来自微电子所和光电院的先进光刻机技术相关领域科研人员参加了培训并顺利结业。

　　宗明成研究员承担国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”相关项目以来，致力于先进光刻机技术的国产化研究。为更好地完成国家科技重大专项，使国内先进光刻机技术研究团队快速成长，特组织发起了此次培训。培训班为期4天，课程包括国际先进光刻机的现状与发展趋势、先进光刻机整机及关键子系统的相关知识、硅基CMOS集成电路工艺等内容，期间，学员还参观了中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心工艺线。

　　此次培训班的顺利开展得到了上级领导的重视和大力支持。中国科学院微电子研究所所长叶甜春、中国科学院光电研究院副院长王宇、中国科学院微电子研究所人教处处长赵永凤参加了培训班结业仪式。仪式上，叶甜春所长对此次培训班给予了充分肯定，他希望学员日后要认真学习，不断提高专业技术水平，在工作岗位上为国家重大技术攻关任务做出更大贡献，他还建议今后举办更多此类高水平的培训课程，不断对科研人员进行专业培训。结业式上，叶甜春所长和王宇副院长向学员们颁发了培训证书。

　　在课程评估与反馈意见表中，大多数学员表示参加此次培训收获很大，对今后的工作将会有很大的帮助，希望今后能够参加更多此类高水平的培训课。