12月26日，清华大学任天令教授来微电子所进行学术交流并作了题为《高频声表面波器件研究》的报告。微电子所科研人员、研究生共30余人参加了交流会。 微电子仪器设备研发中心主任夏洋研究员主持了交流会。
任天令在报告中指出，声表面波器件因其性能优良、体积小、可集成等优势，被广泛应用于通信终端系统，又因其对介质表面的变化非常敏感，也可广泛应用于传感检测领域。由于材料和工艺的限制，传统的声表面波器件难以向高频领域发展。为进一步发挥声表面波器件在通信技术和传感检测领域中的优势，近年来科研人员从器件结构和工艺等方面系统研究了高频声表面波器件的设计及工艺方法，实现了10GHz以上的高频声表面波器件的制备。与会人员就相关技术问题与任天令进行了深入交流，现场气氛活跃，学术气息浓厚。
交流会后，任天令在夏洋的陪同下参观了微电子仪器设备研发中心工艺线，就联合研发声表面波关键仪器设备及成套设备进行了探讨。
任天令现为清华大学“长江学者特聘教授”、国家杰出青年基金获得者、博士生导师，主要研究方向为新型微纳电子器件与集成微系统技术等。
交流会现场
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