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合作交流

香港科技大学Mansun Chan教授来微电子所访问交流

稿件来源: 发布时间:2016-07-15

   

  713日,香港科技大学Mansun Chan教授来微电子所访问交流,并作了题为“Carbon Nanotube Enhanced CMOS Interconnect Technology”的学术报告。交流会由刘明院士主持,微电子所科研人员、研究生共40余人参加了交流会。 

  Mansun Chan在报告中指出,由于电流密度增加和负载减少,碳纳米管(CNT)越来越多地应用在先进CMOS互连中。他介绍了如何使用碳纳米管实现小通孔填充和多孔层间介质。针对CMOS的兼容问题限制了催化剂材料和加工条件这一情况,Mansun Chan的课题组通过催化剂工程证明,在低温下镍可以在金属或硅化物基上形成碳纳米管填充通孔,且接触电阻很小。使用碳纳米管作为垂直对齐的孔模板,可以实现具有强机械强度的介电常数k1.89的低k介质层。与会人员就碳纳米管、MOSFET模型等同Mansun Chan进行了热烈的学术讨论。 

  Mansun Chan现任香港科技大学电子工程学院教授,研究方向包括纳米器件技术、传感器、SOI技术,高性能芯片,三维电路技术、器件模型和纳米生物微机电技术,参与建立的SPICE统一BSIM模型已被大多数美国企业和紧凑模型委员会接受并作为MOSFET模型的第一个工业标准。 

 

学术报告现场 

   

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