6月30日，北京科技大学材料科学与工程学院纳米材料与技术专业的30余名大二学生来到微电子所参观实习。
同学们首先听取了微电子仪器设备研发中心副研究员解婧关于集成电路制造工艺与设备的精彩讲解。解婧从集成电路的行业背景、微电子工艺及设备的技术、科研型设备产业现状分析等方面，介绍了集成电路行业的专业知识以及未来的发展前景。她指出，作为技术制造业的最高端，集成电路产业正在不断改善人类的生活，强大的集成电路装备正是集成电路发展的重要基石。她介绍了微电子仪器设备研发中心自行研发生产的刻蚀机、等离子体化学沉积设备、原子层沉积设备和物理溅射沉积设备的工作原理、创新技术及其产业应用。报告会后，同学们分别参观了微纳加工平台、集成电路先导工艺研发平台，观看了工作人员的演示操作，对不同类型的微电子设备及操作原理有了一定了解。
纳米材料与集成电路发展密不可分。本次活动对于在校学生是一次难得的实践机会，同学们将所学所见相结合，通过与一线科研人员的交流，加深了对书本知识的理解，有助于专业知识的学习。
报告现场
参观工艺线
综合信息