微电子技术联合实验室第一次执行会议召开

　　4月12日，微电子所与日本爱发科株式会社、爱发科（苏州）技术研究开发有限公司召开微电子技术联合实验室第一次执行会议。相关方领导及技术专家共30余人参加了会议。会议由微电子所所长助理、先导中心主任王文武主持。 

　　微电子所所长叶甜春、日本爱发科株式会社社长小日向久治分别致辞。爱发科（苏州）技术研究开发有限公司部长李茂林详细报告了SEM-200设备的调试进展，介绍了双方即将开展的PZT、磁性薄膜技术有关情况。微电子所先导中心副主任李俊峰汇报了已开展的AlN、Mo、VOx、Ge PVD工艺开发和相关器件调试结果，并结合客户需求对设备性能的改善提出了建议。 

　　小日向社长对微电子所的工作进度和成果给予了充分的肯定。双方对下一步合作方向和规划进行了讨论和交流，一致表示将在市场信息分享、新技术应用等方面进行更加深入的合作。