加拿大蒙特利尔工学院Yves-Alain Peter教授来微电子所访问交流

　　5月25日，加拿大蒙特利尔工学院Yves-Alain Peter教授访问微电子所并作学术报告。微电子所青促会小组组长刘丰满研究员主持会议。微电子所职工、研究生共30余人参加了会议。 

　　Peter以芯片上光学微腔制作和设计为主题，讲解了利用微纳加工技术，在硅芯片上设计并制作光学微机电系统的技术方法。该技术可应用于投影系统、光通信、生物医学成像和望远镜系统等。Peter介绍了所在团队开发的新型光学微腔，该微腔对环境极为敏感，有助于优化传感器和其他光子器件结构。他还介绍了芯片上的光学传感器阵列开发、利用光纤和高功率激光器制造微球腔体等技术。与会人员就感兴趣的话题，同Peter进行了深入交流。 

　　会后，Pete参观了集成电路先导工艺研发中心净化工艺线。 

　　本次报告会由微电子所重点实验室和青促会小组共同举办。