中国共产党的优秀党员，我国杰出的微电子科学家，中国科学院院士，中国科学院微电子研究所研究员、原中国科学院微电子中心主任，第九届、第十届全国人民代表大会常务委员会委员，中国科学院技术科学部第八届常务委员会委员、第九届常务委员会副主任，中国科学院信息技术科学部第十二届常务委员会委员，第四届中国科学院学部主席团成员吴德馨院士遗体告别仪式，于2026年3月29日上午9时在北京八宝山殡仪馆东礼堂举行。吴德馨院士的亲属、生前同事、好友、学生及有关单位代表来到殡仪馆，送别最后一程。
吴德馨院士因病医治无效，于2026年3月23日13时15分在北京逝世，享年90岁。
告别仪式大厅庄严肃穆，哀乐低回。正厅上方悬挂黑底白字横幅“沉痛悼念吴德馨院士”，两侧挽联凝练厚重，尽述其崇高风范与科研荣光“德厚流光 奠基微电子功昭华夏，馨风永驻 深耕半导体业耀千秋”。吴德馨院士身盖鲜红党旗，安卧于鲜花翠柏丛中。
吴德馨院士逝世后，多位党和国家领导人对其逝世表示沉痛哀悼，向家属表示慰问，并送花圈。中共中央组织部、中国科学院等单位，吴德馨院士生前学习工作单位、家乡政府，以及亲友、同事、学生等，纷纷以不同方式进行悼念和缅怀，对其为中国科技事业作出的重要贡献给予高度评价。
告别仪式现场，中国科学院微电子研究所所长、党委书记戴博伟，党委副书记、纪委书记谢光锋，副所长曹立强、李泠、罗军，以及来自科研院所、高等院校、企业等单位的领导与同志们，怀着沉痛的心情向吴德馨院士鞠躬献花作最后的告别，并慰问吴德馨院士亲属。
斯人已逝，风范长存。深切缅怀吴德馨院士！
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