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专利

专利名称 发明人 申请号 申请日期
一种气体分配器及原子层沉积设备 张艳清;夏洋;李超波;万军;吕树玲;陈波;石莎莉;李楠; 201210001944.1 2012-01-05
一种大气等离子喷涂技术制备非晶Y3Al5O12涂层的方法 王文东;黄春;闫坤坤;夏洋; 201210001926.3 2012-01-05
用STI的拐角应力增强MOSFET性能 朱慧珑;骆志炯;尹海洲; 201110417139.2 2011-12-14
一种混合线条的制造方法 唐波;闫江; 201110460558.4 2011-12-31
半导体器件及其制造方法 王桂磊; 201110394014.2 2011-12-01
一种半导体结构及其形成方法 朱慧珑;骆志炯;尹海洲; PCT/CN2011/071249 2011-02-24
半导体结构和形成该半导体结构的方法 梁擎擎;钟汇才;朱慧珑; PCT/CN2011/001997 2011-11-30
半导体器件及其形成方法、封装结构 钟汇才;梁擎擎;闫江;赵超; PCT/CN2011/078325 2011-08-12
用于保持热预算稳定的加热方法 李春龙; PCT/CN2011/001313 2011-08-09
半导体器件及其制造方法 梁擎擎;朱慧珑;钟汇才; PCT/CN2011/001308 2011-08-09
半导体器件及其制造方法 罗军;赵超; PCT/CN2011/000712 2011-04-22
浅沟槽隔离结构、其制作方法及基于该结构的器件 闫江; PCT/CN2011/001281 2011-08-03
一种栅堆叠结构、半导体器件及二者的制造方法 骆志炯;朱慧珑; PCT/CN2011/000581 2011-04-06
半导体器件结构的制造方法及其结构 钟汇才;梁擎擎; PCT/CN2011/000306 2011-02-25
晶体管及其制造方法 尹海洲;朱慧珑;骆志炯; PCT/CN2011/000262 2011-02-21