7月2日，北京科技大学纳米材料、纳米材料制备等专业的师生一行30余人到微电子所交流，并重点参观了微电子设备技术研究室。
交流会上，微电子设备技术研究室夏洋主任向来访师生们表示热烈欢迎，简要介绍了微电子所以及微电子设备技术研究室的基本情况。微电子设备技术研究室解婧博士向师生们作了题为《集成电路制造工艺与设备》的报告，讲解了仪器对科学发展作用、装备的产生背景，介绍了等离子体浸没超低能离子注入机、超浅结激光退火设备、原子层薄膜沉积系统、动态薄层化学处理清洗机等8台32nm新原理集成电路设备的工作原理、创新技术及其产业应用。此外，她还介绍了微电子设备研究室自行研发生产的刻蚀机、等离子体化学沉积设备（PECVD）、原子层沉积设备（ALD）和物理溅射沉积设备。
夏洋主任带领师生们参观了集成电路芯片制造线和封装测试线模型、净化间。参观中，他用幽默风趣、通俗易懂的语言向师生们讲解了深奥的微电子学知识，让大家走近了微电子科学、了解了相关知识。此外，师生们还参观了集成电路先导工艺研发中心22nm工艺线。
此次活动中，北京科技大学的同学们通过参加报告会、聆听科研成果讲解、实地参观微电子设备研发测试平台、22纳米先导工艺线，了解了微电子学知识，加深了对书本知识的深入理解，将有助于同学们对纳米材料、纳米材料制备等专业知识的学习。
参观集成电路芯片制造线和封装测试线知识
聆听科研人员对微电子设备讲解
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