| 专利名称 | 发明人 | 申请号 | 申请日期 |
|---|---|---|---|
| 电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置 | 窦伟,李楠,李超波,夏洋; | 201120527128.5 | 2011-12-15 |
| 电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置 | 窦伟,李楠,李超波,夏洋; | 201120527005.1 | 2011-12-15 |
| 原子层薄膜沉积系统 | 夏洋,李超波,陈波,万军,吕树玲,马舒; | 201130473781.3 | 2011-12-13 |
| 一种纳米电子器件及其制作方法 | 龙世兵，刘明，李维龙，贾锐; | 200910077523.5 | 2009-01-21 |
| 一种平面结构有机场效应晶体管的制作方法 | 刘舸，刘明，刘兴华，商立伟，王宏，柳江; | 200910077679.3 | 2009-02-11 |
| 采用体有源层材料作为前驱体诱导有源层有序生长的方法 | 刘舸，刘明，刘兴华，商立伟，王宏，柳江; | 200910077674.0 | 2009-02-11 |
| 多功能离子束溅射设备 | 龙世兵，刘明，陈宝钦，谢常青，贾锐，徐连生; | 200910083499.6 | 2009-05-06 |
| 全球定位系统接收机的低成本授时与同步方法及设备 | 郑睿，陈杰，李健; | 200710176937.4 | 2007-11-07 |
| 寄生GPS解算程序和信息服务程序通信方法 | 郑睿，鲁振鹏，李健，陈杰; | 200710178319.3 | 2007-11-28 |
| 二氧化碳低温气溶胶半导体清洗设备 | 高超群，景玉鹏; | 200810227478.2 | 2008-11-26 |
| 基于滤波结构分光的红外光谱式MEMES气敏传感器 | 景玉鹏，高超群; | 200910087345.4 | 2009-06-17 |
| 一种制作纳米级图形的方法 | 傅剑宇，陈大鹏，景玉鹏，欧毅，叶甜春; | 200710177797.2 | 2007-11-21 |
| 一种制备金属性金属氮化物薄膜的方法 | 陈世杰，王文武; | 200810226687.5 | 2008-11-19 |
| 一种纳米压印光刻机 | 姜骥，谢常青，岑专专，商立伟，刘兴华，刘明; | 200710178789.X | 2007-12-05 |
| 采用有源层图形化制备有机场效应晶体管的方法 | 刘舸，刘明，刘兴华，商立伟，王宏，柳江; | 200810240085.5 | 2008-12-17 |
科研产出