中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室拥有一支在领域内有影响力的科研团队，现在固定人员70人，其中研究员10人，副高级研究人员19人、高级工程师3名、高级实验师2名。科研团队中有院士1人、科技北京百名领军人才1人、中科院卢嘉锡青年人才奖2名。从国内外高校和科研机构招聘具有研究生学历青年人才几十人，已经组建了一支结构合理、素质优良、具有较强竞争力和持续发展能力的科技人才团队和管理与技术支撑队伍。

　　设有博士和硕士学位授予点，博士后2人，在读研究生35人，其中硕士研究生24人，博士研究生11人。博士后和研究生队伍的发展使本实验室的科研力量充满生机与活力。