中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室先后承担和参与了多项国家科技重大专项、863、973、中科院重大装备和自然基金课题。近5年发表论文XX篇，包括IEEE EDL 30篇，IEEE TED 5篇，Nat. Commun. 2篇，Nano Lett. 1篇，Adv. Mater. 2篇，Adv. Funct.Mater. 2篇，ACS Nano 1篇，PRL 1篇，Small 1篇，Opt. Lett 8篇，APL 29篇，Nanotechnol. 5篇，Carbon 1篇，其中影响因子大于8的有9篇。3篇论文以封面文章发表。研究成果被国际著名学者写入7本专著和40篇综述中。发表在Adv. Mater. 2012、IEEE EDL 2013（两篇）、Nano Lett. 2009、IEEE EDL 2009和IEEE EDL 2008上的六篇论文入选Highly cited paper（Top 1%）。重点实验室成员在本领域重要国际会议做邀请报告35次，并多次参与国际会议的组织。38项授权发明专利转让中芯国际，1项许可揭阳中诚，2项许可常州瑞择；295项存储器发明专利许可给武汉新芯（1203件专利获许可费6170万元）；3项授权发明专利以作价转让形式入资四川豆萁科技股份有限公司。近5年荣获国家技术发明二等奖2项，北京市科技进步一等奖1项、北京市科技进步二等奖1项和中国科学院杰出成就集体奖1项。

　　研究室积极与国内外著名大学、公司开展合作研究，联合进行人才培养，与上海宏力、中芯国际、武汉新芯等国际先进半导体集成电路芯片制造企业开展多元、长期、有效的科技成果转化合作，为国内外数百家高科技公司、高校和研发机构提供制版和工艺支撑服务。