根据《中国科学院事业单位变更政府采购方式审批管理办法》和《微电子研究所委托服务管理办法》的要求，为了进一步规范公开招标数额标准以下的服务选择单一来源采购流程，现将拟开展的委托服务采购予以公示。
一、委托服务项目名称、预算、采购方式
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申请部门 |
先导工艺研发中心 |
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课题号 |
E1XDC2X001、E1XDC2X002、E1XDC2X004 |
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委托服务项目名称 |
电子束曝光机年度维保 |
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委托服务项目预算（万元） |
190万元 |
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拟申请采购方式 |
单一来源 |
二、委托服务项目内容
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委托服务名称 |
委托服务内容 |
金额（元） |
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电子束曝光机年度维保 |
K02-128工件台维护；K02-128服务器升级；K02-189电子枪维护；K02-189末级透镜线圈更换；其他故障维修 |
1900000 |
三、单一来源理由
中国科学院微电子研究所先导中心承担的院课题GAA器件项目，电子束曝光机是该项目的关键设备，具有不可替代性。
先导中心有两台电子束曝光机（资产编号：K02-128、K02-189)，2011年11月30日采购于英国Nano Beam Limited（NBL），均已过质保期，且前期购买的维保服务于2023年11月到期。
电子束曝光机属于高精密设备，需定期进行专业维护才能正常运行。电子束曝光机所需要的维护项目包括：
1. K02-128工件台维护
2. K02-128服务器升级
3. K02-189电子枪维护
4. K02-189末级透镜线圈更换
5. 其他故障维修
目前这两台设备的维保期到2023年11月 ，院课题GAA器件将于2022年9月至2025年11月使用，且两台设备分别应用于该课题的前道非金属工艺以及后道金属工艺，因此两台设备均需使用。为保障院课题GAA器件的顺利推进，需要保障电子束曝光机的正常运行。为保证维保质量，本次拟选择原生产厂家英国NBL公司对设备进行维护，因此申请采用单一来源采购。
四、拟定的唯一供应商（服务商及相关代理）名称、地址
供应商名称：Nano Beam Limited
地址：Unit 4 College Business Park, Coldhams Lane
CAMBRIDGE CB1 3HD United Kingdom
五、公示期限及联系方式
公示时间为2024年7月29日至2024年8月2日，任何单位及个人对公示内容有异议，请于2024年8月2日17时前，以电话、信函等方式向资产管理处反映，资产管理处将按相关规定进行处理。
联系人：石宇
联系电话：82995524
邮箱：shiyu@ime.ac.cn
附：1、单一来源采购单位内部会商意见表（一）
2、单一来源采购单位内部会商意见表（二）
资产管理处
2024年7月29日
综合信息