根据《中国科学院事业单位变更政府采购方式审批管理办法》和《微电子研究所委托服务管理办法》的要求，为了进一步规范公开招标数额标准以下的服务选择单一来源采购流程，现将拟开展的委托服务采购予以公示。
一、委托服务项目名称、预算、采购方式
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申请部门 |
先导工艺研发中心 |
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课题号 |
E4GZ080201 |
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委托服务项目名称 |
电子束曝光机年度维保 |
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委托服务项目预算（万元） |
180万元 |
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拟申请采购方式 |
单一来源 |
二、委托服务项目内容
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委托服务名称 |
委托服务内容 |
金额（元） |
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电子束曝光机年度维保 |
工件台维护；服务器维护升级；电子枪维护；故障维修；故障部件更换，包含工件台、真空泵、电子枪电源单元、ZYGO激光头及其它机械和电子部件。 |
1800000 |
三、单一来源理由
中国科学院微电子研究所先导中心承担的课题先进逻辑器件及制造技术项目，电子束曝光机是该项目中前沿性关键技术前期探索的关键设备，具有不可替代性。先导中心有两台Nano Beam Limited（NBL）电子束曝光机，分别于2012年和2013年到货启用，目前均已过质保期。电子束曝光机属于高精密的集成电路专用设备，包含生产厂商大量专利技术和专有零部件。为保证设备正常运行，后续维修与维护服务只能由设备生产厂商Nano Beam Limited（NBL）承担。
四、拟定的唯一供应商（服务商及相关代理）名称、地址
供应商名称：Nano Beam Limited
地址：Unit 4 College Business Park, Coldhams Lane
CAMBRIDGE CB1 3HD United Kingdom
五、公示期限及联系方式
公示时间为2025年6月23日至2025年6月27日，任何单位及个人对公示内容有异议，请于2025年6月27日17时前，以电话、信函等方式向资产管理处反映，资产管理处将按相关规定进行处理。
联系人：石宇
联系电话：101-82995524
邮箱：shiyu@ime.ac.cn
资产管理处
2025年6月23日
综合信息