根据《中国科学院事业单位变更政府采购方式审批管理办法》和《微电子研究所委托服务管理办法》的要求，为了进一步规范公开招标数额标准以下的服务选择单一来源采购流程，现将拟开展的委托服务采购予以公示。
一、委托服务项目名称、预算、采购方式
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申请部门 |
新技术开发部光刻测控组 |
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课题号 |
E4XDA1G001 |
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委托服务项目名称 |
等离子体发射装置租赁 |
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委托服务项目预算（万元） |
190 |
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拟申请采购方式 |
单一来源 |
二、委托服务项目内容
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委托服务名称 |
委托服务内容 |
金额（元） |
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等离子体发射装置租赁 |
租赁等离子体发射装置一套，包含该设备的安装和维护。 |
190万 |
三、单一来源理由
中国科学院微电子研究所新技术开发部光刻测控组承担的课题收集镜光学性能综合检测技术，EUV反射率检测模块需要等离子体发射装置作为EUV光源。目前国内外只有极少数企业具备高性能等离子体发射装置研发生产能力，部分企业的设备受美国出口限制无法在国内租售；部分企业的设备因价格昂贵无公司或代理商提供租赁服务。经调研，只有艾格斯瑞（成都）仪器设备有限公司可以提供相关等离子体发射装置的租赁服务。该公司的软X射线吸收谱实验室的等离子体发射装置能够满足课题需求。
综上，选择采用单一来源方式，从艾格斯瑞（成都）仪器设备有限公司采购等离子体发射装置的租赁服务。
四、拟定的唯一供应商（服务商及相关代理）名称、地址
供应商名称：艾格斯瑞（成都）仪器设备有限公司
地址：中国（四川）自由贸易试验区成都市双流区西南航空港经济开发区黄甲街道物联一路8号
五、公示期限及联系方式
公示时间为2025年11月18日至2025年11月24日，任何单位及个人对公示内容有异议，请于2025年11月24日17时前，以电话、信函等方式向资产管理处反映，资产管理处将按相关规定进行处理。
联系人：石宇
联系电话：82995524
邮箱：shiyu@ime.ac.cn
附：1、单一来源采购单位内部会商意见表（一）
2、单一来源采购单位内部会商意见表（二）
资产管理处
2025年11月18日
综合信息