| 专利名称 | 发明人 | 申请号 | 申请日期 |
|---|---|---|---|
| 改善微机械非制冷红外成像芯片中反光板平整度的方法 | 欧毅，史海涛，陈大鹏，景玉鹏，李超波，焦斌斌; | 200710178317.4 | 2007-11-28 |
| 一种微尖端阵列器件及其制作方法 | 陈大鹏，傅剑宇，景玉鹏，欧毅，叶甜春; | 200710176936.X | 2007-11-07 |
| 一种电磁驱动推拉式射频微机电系统开关 | 李全宝，景玉鹏，陈大鹏，欧毅，叶甜春; | 200710117611.4 | 2007-06-20 |
| 一种双稳态单晶硅梁射频微机电系统开关 | 李全宝，景玉鹏，陈大鹏，欧毅，叶甜春; | 200710064876.2 | 2007-03-28 |
| 一种气敏传感器标定和可靠性测试系统 | 黄钦文，陈大鹏，景玉鹏，欧毅，叶甜春; | 200710063698.1 | 2007-02-07 |
| 红外探成像装置 | 董立军; | 201120046894.X | 2011-02-23 |
| 一种沟道式电容器的制作方法 | 吕垚，李宝霞，万里兮; | 200910077670.2 | 2009-02-11 |
| 用于双腔式结构等离子体浸没离子注入的隔板装置 | 刘杰 汪明刚 夏洋 李超波 罗威 罗晓晨 李勇滔; | 201020250591.5 | 2010-07-07 |
| 一种等离子体浸没离子注入系统 | 李超波 刘杰 汪明刚 夏洋 罗威 罗小晨 李勇滔; | 201020247215.0 | 2010-07-05 |
| 等离子体浸没离子注入设备 | 刘杰 汪明刚 夏洋 李超波 罗威 罗晓晨 李勇滔; | 201020238000.2 | 2010-06-25 |
| 等离子体浸没注入机的注入离子剂量检测控制装置. | 汪明刚 刘杰 夏洋 李超波 陈瑶 赵丽莉 李勇滔; | 201020293992.9 | 2010-08-17 |
| 一种二氧化二氧化硅牺牲层释放系统 | 王磊，景玉鹏; | 200920350781.1 | 2009-12-30 |
| 二氧化碳缓冲硅片打孔装置 | 景玉鹏，惠瑜; | 200910083506.2 | 2009-05-06 |
| 石英晶圆深微孔加工设备及方法 | 罗小光，刘茂哲，李全宝，高超群，景玉鹏; | 200710178773.9 | 2007-12-05 |
| CMOS/MEMS兼容光谱式气敏传感器 | 景玉鹏，高超群; | 200910080060.8 | 2009-03-18 |
科研产出